Kalibrační mřížka TDG01

Kalibrační mřížka pro submikronovou kalibraci

Parametry

Struktura: mřížka je zformována na chalkogenidovém skle s Al povlakem

Vzor: 1D, paralelní hřebeny v osách X nebo Y

Perioda: 278 ±1 nm

Výška: > 55 nm

Velikost chipu: průměr 12,5 mm, tloušťka 2,5 mm

Efektivní oblast: středový průměr 9 mm